Расчет параметров профиля концентрации при ионном легировании путем нахождения минимума целевой функции методом Давидона-Флетчера-Пауэлла
Таблица 1 - Результаты поиска параметров ионного легирования
Ошиб. в % | № изм. | Кол-во итераций | Нач. энергия, КэВ | Нач. доза, 1/мкм2 | Получ. энергия, КэВ | Получ. доза, 1/мкм2 | Погрешн. энергии, % | Погрешн. дозы, % |
10 | 1 | 38 | 78,3 | 45∙107 | 87,021 | 49267297,74 | 0,024 | 1,465 |
2 | 25 | 95,7 | 45∙107 | 87,009 | 49852166,06 | 0,010 | 0,296 | |
3 | 35 | 78,3 | 55∙107 | 87,001 | 49992501,66 | 0,001 | 0,015 | |
20 | 4 | 26 | 104,4 | 40∙107 | 86,995 | 50097496,95 | 0,006 | 0,195 |
5 | 37 | 104,4 | 60∙107 | 87,014 | 49805852,08 | 0,016 | 0,388 | |
6 | 28 | 69,6 | 60∙107 | 86,998 | 50104233,76 | 0,002 | 0,208 | |
7 | 52 | 69,6 | 40∙107 | 87,004 | 49937067,8 | 0,005 | 0,126 | |
30 | 8 | 13 | 113,1 | 35∙107 | 87,005 | 49633478,74 | 0,006 | 0,733 |
9 | 33 | 113,1 | 65∙107 | 87,001 | 49984451,59 | 0,001 | 0,031 | |
10 | 37 | 60,9 | 65∙107 | 86,993 | 50120982,28 | 0,008 | 0,242 | |
40 | 11 | 45 | 52,2 | 30∙107 | 87,016 | 49933663,52 | 0,018 | 0,133 |
12 | 36 | 121,8 | 30∙107 | 87,114 | 48190182,33 | 0,131 | 3,620 | |
13 | 50 | 121,8 | 70∙107 | 86,996 | 50067333,81 | 0,005 | 0,135 | |
14 | 29 | 52,2 | 70∙107 | 86,99 | 50186265,96 | 0,011 | 0,373 | |
50 | 15 | 47 | 43,5 | 25∙107 | 87,001 | 49999412,33 | 0,001 | 0,001 |
16 | 33 | 130,5 | 25∙107 | 87,002 | 49968148,13 | 0,002 | 0,064 | |
17 | 29 | 130,5 | 75∙107 | 86,991 | 50181321,21 | 0,010 | 0,363 | |
18 | 36 | 43,5 | 75∙107 | 86,924 | 50571855,6 | 0,087 | 1,144 | |
75 | 19 | 216 | 152,25 | 125∙107 | 87,062 | 48745908,84 | 0,071 | 2,508 |
20 | 29 | 152,25 | 87,5∙107 | 86,966 | 50117790,97 | 0,039 | 0,236 | |
100 | 21 | 15 | 174 | 100∙107 | 87,21 | 45515288,85 | 0,241 | 8,969 |
| Средняя погрешность | 0,033 | 1,012 |