Return to article

Расчет параметров профиля концентрации при ионном легировании путем нахождения минимума целевой функции методом Давидона-Флетчера-Пауэлла

Таблица 1 - Результаты поиска параметров ионного легирования

Ошиб.

в %

№ изм.

Кол-во итераций

Нач.

энергия, КэВ

Нач. доза, 1/мкм2

Получ. энергия, КэВ

Получ. доза,  1/мкм2

Погрешн. энергии, %

Погрешн. дозы, %

10

1

38

78,3

45∙107

87,021

49267297,74

0,024

1,465

2

25

95,7

45∙107

87,009

49852166,06

0,010

0,296

3

35

78,3

55∙107

87,001

49992501,66

0,001

0,015

20

4

26

104,4

40∙107

86,995

50097496,95

0,006

0,195

5

37

104,4

60∙107

87,014

49805852,08

0,016

0,388

6

28

69,6

60∙107

86,998

50104233,76

0,002

0,208

7

52

69,6

40∙107

87,004

49937067,8

0,005

0,126

30

8

13

113,1

35∙107

87,005

49633478,74

0,006

0,733

9

33

113,1

65∙107

87,001

49984451,59

0,001

0,031

10

37

60,9

65∙107

86,993

50120982,28

0,008

0,242

40

11

45

52,2

30∙107

87,016

49933663,52

0,018

0,133

12

36

121,8

30∙107

87,114

48190182,33

0,131

3,620

13

50

121,8

70∙107

86,996

50067333,81

0,005

0,135

14

29

52,2

70∙107

86,99

50186265,96

0,011

0,373

50

15

47

43,5

25∙107

87,001

49999412,33

0,001

0,001

16

33

130,5

25∙107

87,002

49968148,13

0,002

0,064

17

29

130,5

75∙107

86,991

50181321,21

0,010

0,363

18

36

43,5

75∙107

86,924

50571855,6

0,087

1,144

75

19

216

152,25

125∙107

87,062

48745908,84

0,071

2,508

20

29

152,25

87,5∙107

86,966

50117790,97

0,039

0,236

100

21

15

174

100∙107

87,21

45515288,85

0,241

8,969

 

Средняя погрешность

0,033

1,012